エレクトロニクス

半導体をはじめとするエレクトロニクスにおくる超純水、高度に管理されたエッチング液内の溶存ガスの管理は歩留まり、品質にとって必要不可欠です。また、多くの純水を使用するということは、多くの薬液も利用されますので、排水の管理も重要です。ハック・ウルトラのOrbisphere(オービスフェア)BioTector(バイオテクター)をはじめとする水質測定器は今までこれらのニーズを支えてきました。この貢献はますます社会にとって重要なものとなってきています。

半導体分野におけるアプリケーション

  • シリコンウェーハの研磨、洗浄、切断、加工工程の水
  • 超純水
  • 廃水
  • 水のリサイクルと再利用
  • エネルギーと化学物質の節約

 

超純水、再生水、シリカの管理には、高性能な溶存ガス計シリカ分析計を幅広くご用意しています。エレクトロニクス業界では、厳しい品質管理の要求があります。

マイクロエレクトロニクス回路は、クリーンルームと呼ばれる非常にクリーンな製造環境で製造されています。 この業界では、高品質の超純水を大量に必要とします。 また、半導体ウエハの洗浄に使用する水も厳しい基準を満たす必要があります。 微小な粒子は製品不良の原因となるため、高感度な測定方法が不可欠です。

全純度製造

プロセスのすべての段階で、純度が重要な要素となります。 すべての工程で不純物の存在があってはなりません。 キャリア粒子をクリーンルームでモニターするだけでなく、リンス剤は可能な限り純粋なものでなければなりません。 単純な脱イオン水だけでは不十分です。 超純水の品質を保証する唯一の方法は、高精度の水分析です。 ミクロンサイズの粒子でもプロセスに影響を与えます。

水質分析の世界的なリーディングブランドであるハック・ウルトラは、生産性、コスト効率、持続可能性といった水の課題に対応するために、完全に統合されたモニタリングソリューションを提供しています。

アプリケーションノート ∕ ケーススタディ

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